Mobiler Roboter mit kompakter Bildverarbeitungslösung
Mit der Lösung Semi Mobility Solution hat Kuka einen weiteren Schritt in der Automatisierung der Halbleiterproduktion vollzogen. Nicht nur die Einzelschritte der Fertigung erfolgen nun robotergestützt. Ein mobiler Roboter übernimmt auch den Transport der hoch empfindlichen Wafer von Station zu Station. Mit an Bord ist ein kompaktes Bildverarbeitungssystem von Cognex. Ein Leichtbauroboter der Serie LBR iiwa ist auf einem autonomen fahrerlosen Transportfahrzeug vom Typ KMR 200 CR montiert und kann so Halbleiterkassetten automatisiert transportieren und handhaben. Das Bildverarbeitungssystem basiert auf Cognex-Sensoren vom Typ In-Sight 2000, die sich einfach über Ethernet und PoE integrieren lassen.
Bild: Cognex Germany Inc.
Im Praxisbetrieb fährt der Robotergreifer zunächst an die Transportbox heran. Dann wird die Bildverarbeitung aktiv. Sie erkennt den Offset zum in der Steuerung hinterlegten Zielpunkt und referenziert auf dieser Basis die Position des Greifers, der daraufhin mit der erforderlichen Präzision im Millimeterbereich die jeweilige Transportbox greifen kann. Eine integrierte Kalibrierfunktion gewährleistet ein dauerhaft präzises Positionieren.
