Induktives Laden in der Reinraumautomatisierung

HERO Fab
HERO Fab –

Fabmatics entwickelt Lösungen, die vom Transport über die Lagerung bis hin zur Identifikation von Wafern reichen. Zusammen mit Wiferion und PohlCon entwickelte Fabmatics Ladepads, die nahtlos in den Doppelboden der Reinräume eingebettet werden können. Dazu muss lediglich eine der üblicherweise im Reinraum vorhandenen Bodenplatten ersetzt werden, sodass aufwändige Umbauten nicht nötig sind. Die Energieübertragung erfolgt kontaktlos über ein magnetisches Feld, sodass keine Partikel erzeugt werden. Darüber hinaus ist das kabellose Ladesystem von Wiferion auch brandschutztechnisch vorteilhaft. Schleppketten oder offene Kontakte, die Partikelabreibung und Funkenbildung begünstigen könnten, werden überflüssig.

Durch die Integration der Wiferion-Lösung konnte Fabmatics eine zentrale Hürde bei der Automatisierung von Reinraumprozessen überwinden. Die induktive Energieversorgung ermöglicht einen wartungsfreien, prozessintegrierten Betrieb mobiler Roboter selbst in hochsensiblen Produktionsumgebungen. Für die Halbleiterindustrie, insbesondere für die 200mm-Waferfabriken mit ihren historisch gewachsenen Strukturen, bedeutet das einen echten Effizienzsprung.